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Y2O3薄膜的制备以及抗划伤性能和摩擦学性能研究

来源期刊：材料保护2004年增刊第1期

论文作者：刘晓红杨生荣王金清

关键词：自组装薄膜; Y2O3薄膜; 抗划伤性能; 摩擦学性能;

摘要：采用自组装成膜技术制备Y2O3薄膜.利用XPS、XRD和AFM分析表征了薄膜的组成和结构.结果发现淀积在基片上的Y2O3薄膜比较致密、均匀且牢固性好.摩擦磨损实验表明:利用该方法制备的Y2O3薄膜经600℃烧结处理后适于在低负荷、低滑动速度下作为减摩、抗磨保护性涂层.

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刘晓红¹，杨生荣¹，王金清¹

(1.中国科学院兰州化学物理研究所,固体润滑国家重点实验室,甘肃,兰州,730000)

摘要:采用自组装成膜技术制备Y2O3薄膜.利用XPS、XRD和AFM分析表征了薄膜的组成和结构.结果发现淀积在基片上的Y2O3薄膜比较致密、均匀且牢固性好.摩擦磨损实验表明:利用该方法制备的Y2O3薄膜经600℃烧结处理后适于在低负荷、低滑动速度下作为减摩、抗磨保护性涂层.

关键词:自组装薄膜; Y2O3薄膜; 抗划伤性能; 摩擦学性能;

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