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纳米压入技术表征薄膜(涂层)的力学性能

来源期刊：材料热处理学报2001年第4期

论文作者：李河清陈秋龙蔡殉

关键词：薄膜(涂层); 纳米压入; 力学性能;

摘要：采用纳米压人技术测试薄膜(涂层)的力学性能日益受到关注.测试过程中可自动记录载荷一压深曲线,能够获取薄膜(涂层)的硬度、弹性模量、薄膜(涂层)自身结合强度、膜基界面结合强度、残留应力、屈服强度以及应变硬化率等力学性能数据.本文扼要介绍了纳米压人技术表征薄膜(涂层)力学性能的测试原理.

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李河清¹，陈秋龙¹，蔡殉¹

(1.上海交通大学教育部高温材料及高温测试开放实验室,上海,200030)

摘要:采用纳米压人技术测试薄膜(涂层)的力学性能日益受到关注.测试过程中可自动记录载荷一压深曲线,能够获取薄膜(涂层)的硬度、弹性模量、薄膜(涂层)自身结合强度、膜基界面结合强度、残留应力、屈服强度以及应变硬化率等力学性能数据.本文扼要介绍了纳米压人技术表征薄膜(涂层)力学性能的测试原理.

关键词:薄膜(涂层); 纳米压入; 力学性能;

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