YSZ薄膜的制备及应用
来源期刊：功能材料与器件学报2000年第4期
论文作者：王岭 孙加林 洪彦若 潘礼庆
关键词：YSZ薄膜; 固体电介质; 电导率; 气体传感器; 溅射镀膜;
摘 要：研究了在NASICON基板上使用溅射法制备的YSZ薄膜的结构、晶相和导电性,实验表明,刚制备的YSZ薄膜经750℃常规退火处理后,薄膜表面致密、均匀、无裂纹,具备良好的导电性能.YSZ/NASICON组合再加上Ba(NO3)2辅助电极构成的NOX气体传感器在450℃下响应迅速(响应时间约为3min)、稳定,能检测到10ppm量级的NO2气体.
王岭1，孙加林1，洪彦若1，潘礼庆2
(1.北京科技大学固体电解质及冶金测试国家专业实验室,北京,100083;
2.北京科大天宇微电子材料开发有限公司,北京科技大学物理系,北京100083;
3.北京科技大学固体电解质及冶金测试国家专业实验室,北京100083)
摘要:研究了在NASICON基板上使用溅射法制备的YSZ薄膜的结构、晶相和导电性,实验表明,刚制备的YSZ薄膜经750℃常规退火处理后,薄膜表面致密、均匀、无裂纹,具备良好的导电性能.YSZ/NASICON组合再加上Ba(NO3)2辅助电极构成的NOX气体传感器在450℃下响应迅速(响应时间约为3min)、稳定,能检测到10ppm量级的NO2气体.
关键词:YSZ薄膜; 固体电介质; 电导率; 气体传感器; 溅射镀膜;
【全文内容正在添加中】
