HP40钢表面沉积SiO2功能涂层工艺
来源期刊：机械工程材料2008年第4期
论文作者：黄青 罗小秋 黄志荣 孙启凤
关键词：常压化学气相沉积法; SiO2涂层; HP40钢; 沉积速率;
摘 要：以正硅酸乙酯为源物质,空气为载气,采用常压化学气相沉积法在HP40(25Cr35Ni)合金钢基体上制备了SiO2涂层;研究了沉积温度、源物质温度以及气体流量等工艺参数对沉积速率的影响,并通过XRD和SEM分析了涂层的物相组成及表面形貌.结果表明:用此方法可在HP40钢表面沉积出表面均匀致密且与基体具有一定结合强度的涂层,较合理的工艺参数为源物质温度60℃、沉积温度800℃、气体流量3.33 L·min-1.
黄青1，罗小秋1，黄志荣1，孙启凤1
(1.华东理工大学机械与动力工程学院,上海,200237)
摘要:以正硅酸乙酯为源物质,空气为载气,采用常压化学气相沉积法在HP40(25Cr35Ni)合金钢基体上制备了SiO2涂层;研究了沉积温度、源物质温度以及气体流量等工艺参数对沉积速率的影响,并通过XRD和SEM分析了涂层的物相组成及表面形貌.结果表明:用此方法可在HP40钢表面沉积出表面均匀致密且与基体具有一定结合强度的涂层,较合理的工艺参数为源物质温度60℃、沉积温度800℃、气体流量3.33 L·min-1.
关键词:常压化学气相沉积法; SiO2涂层; HP40钢; 沉积速率;
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