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Φ125 mm直拉硅单晶氧径向均匀性研究

来源期刊：稀有金属1998年第6期

论文作者：方锋吴志强张果虎郝玉清秦福常青万关良

关键词：Φ125; mm硅单晶; 氧径向均匀性; 热场; 晶转速度; 石英坩埚转速;

摘要：为控制氧径向均匀性, 选择Φ350 mm热场. 增加晶转速度可以改善氧径向均匀性, 但石英坩埚转速对氧径向均匀性没有明显影响.

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方锋¹，吴志强¹，张果虎¹，郝玉清¹，秦福¹，常青¹，万关良¹

(1.北京有色金属研究总院,北京,100088)

摘要:为控制氧径向均匀性, 选择Φ350 mm热场. 增加晶转速度可以改善氧径向均匀性, 但石英坩埚转速对氧径向均匀性没有明显影响.

关键词:Φ125; mm硅单晶; 氧径向均匀性; 热场; 晶转速度; 石英坩埚转速;

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