Investigation of Crystallization Incorporation of Er-implanted Silicon
来源期刊：Journal of Rare Earths1995年第2期
论文作者：万亚 李岱青 章蓓 陈孔军 朱沛然 徐天冰
摘 要：ＩｎｖｅｓｔｉｇａｔｉｏｎｏｆＣｒｙｓｔａｌｌｉｚａｔｉｏｎＩｎｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎｏｆＥｒ－ｉｍｐｌａｎｔｅｄＳｉｌｉｃｏｎＷａｎＹａ（万亚）；ＬｉＤａｉｑｉｎｇ（李岱青）（ＤｅｐａｒｔｍｅｎｔｏｆＣｈｅｍｉｓｔｒｙ，ＹａｎｔａｉＴｅａｃｈｅｒｓ...
万亚，李岱青，章蓓，陈孔军，朱沛然，徐天冰
摘 要：ＩｎｖｅｓｔｉｇａｔｉｏｎｏｆＣｒｙｓｔａｌｌｉｚａｔｉｏｎＩｎｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎｏｆＥｒ－ｉｍｐｌａｎｔｅｄＳｉｌｉｃｏｎＷａｎＹａ（万亚）；ＬｉＤａｉｑｉｎｇ（李岱青）（ＤｅｐａｒｔｍｅｎｔｏｆＣｈｅｍｉｓｔｒｙ，ＹａｎｔａｉＴｅａｃｈｅｒｓ...
关键词：
