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a-Si:H薄膜的再结晶技术及Si膜的Raman光谱分析

来源期刊：材料科学与工程学报2005年第3期

论文作者：卢景霄靳瑞敏冯团辉王海燕张宇翔

关键词：非晶硅薄膜; 再结晶技术; 多晶硅薄膜太阳电池; Raman光谱; 晶粒尺寸; 结晶度;

摘要：论述了非晶硅薄膜的几种主要再结晶技术,着重指出了各种晶化技术已取得的研究成果、优缺点、有待进一步研究的内容及其在多晶硅薄膜太阳电池工业生产中的应用前景.另外,还讨论了通过Raman光谱求纳晶硅薄膜的晶粒尺寸和结晶度的方法.

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卢景霄¹，靳瑞敏¹，冯团辉¹，王海燕¹，张宇翔¹

(1.郑州大学教育部材料物理重点实验室,河南,郑州,450052)

摘要:论述了非晶硅薄膜的几种主要再结晶技术,着重指出了各种晶化技术已取得的研究成果、优缺点、有待进一步研究的内容及其在多晶硅薄膜太阳电池工业生产中的应用前景.另外,还讨论了通过Raman光谱求纳晶硅薄膜的晶粒尺寸和结晶度的方法.

关键词:非晶硅薄膜; 再结晶技术; 多晶硅薄膜太阳电池; Raman光谱; 晶粒尺寸; 结晶度;

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