刀具镀层的技术进展
来源期刊:理化检验物理分册2002年第7期
论文作者:夏伯雄
关键词:化学气相沉积; 物理气相沉积; 金刚石镀层刀具; 陶瓷镀层刀具;
摘 要:综述了化学气相沉积(CVD)和物理气相沉积(PVD)工艺的特点与开发,以及CVD和PVD镀层及金刚石镀层刀具的性能和应用.中温CVD,PVD和金刚石镀层刀具等技术的进展标志着先进镀层应用时代的来临.
夏伯雄1
(1.武汉广播电视大学,武汉,430033)
摘要:综述了化学气相沉积(CVD)和物理气相沉积(PVD)工艺的特点与开发,以及CVD和PVD镀层及金刚石镀层刀具的性能和应用.中温CVD,PVD和金刚石镀层刀具等技术的进展标志着先进镀层应用时代的来临.
关键词:化学气相沉积; 物理气相沉积; 金刚石镀层刀具; 陶瓷镀层刀具;
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