体硅微机械湿法加工技术研究进展
来源期刊：材料导报2011年第19期
论文作者：蒋玉荣 边长贤 秦瑞平
文章页码：13 - 17
关键词：体硅技术;各向异性;电化学腐蚀;
摘 要：湿法腐蚀技术成本低,是硅微机械(Micromachining)加工中最基础、最关键的技术。着重讨论了3种主要湿法技术的优缺点,概述了硅的各向同性存在侧向腐蚀、各向异性受晶格限制以及电化学腐蚀受图形尺寸限制的缺点和局限性,探讨了国内外研究现状和湿法腐蚀技术存在的问题及今后电化学腐蚀技术在湿法技术中的地位。
蒋玉荣1,2，边长贤3，秦瑞平1,2
1. 河南师范大学物理与信息工程学院2. 河南省光伏材料重点实验室3. 江西师范大学化学与化工学院
摘 要：湿法腐蚀技术成本低,是硅微机械(Micromachining)加工中最基础、最关键的技术。着重讨论了3种主要湿法技术的优缺点,概述了硅的各向同性存在侧向腐蚀、各向异性受晶格限制以及电化学腐蚀受图形尺寸限制的缺点和局限性,探讨了国内外研究现状和湿法腐蚀技术存在的问题及今后电化学腐蚀技术在湿法技术中的地位。
关键词：体硅技术;各向异性;电化学腐蚀;
