基于脉宽参量的TiN纳米晶薄膜制备及其性能?

来源期刊：稀有金属材料与工程2019年第3期

论文作者：乔泳彭 蒋百灵 丁郁航 张静

文章页码：916 - 922

关键词：脉宽参量;TiN薄膜;纳米晶;微观结构;力学性能;

摘    要：采用大功率脉冲溅射离子镀技术在不同脉宽条件下制备了一组TiN离子镀层,并通过XRD、SEM、AFM等手段对膜层的微观形貌、生长模式及相关力学性能进行了分析研究。结果表明:随着脉宽的增大,TiN膜层的瞬时沉积速率提高,膜层内部的晶化程度逐渐增强,薄膜晶粒尺寸有所增大,微观形貌显示为较典型的TiN（111）三角锥形以及柱状生长,颗粒尺寸及表面粗糙度均随脉宽的延长而增大,膜层整体无明显孔隙等缺陷存在。通过对H/E值的分析可以看出,较小脉宽条件下制备的膜层综合性能较好、可以获得较高的膜层硬度以及较大的硬度-模量比。