HfO2膜料中的杂质对薄膜损伤及性能的影响
来源期刊:稀有金属材料与工程2006年第5期
论文作者:范正修 吴师岗 易葵 邵建达 赵元安
关键词:HfO2膜料; 杂质; 金属; 吸收性介质; Zr元素; 负离子元素;
摘 要:通过对HfO2膜料中杂质元素的分析,找出了影响薄膜性能的主要杂质元素.结果表明:金属元素、吸收性介质元素的存在对薄膜的损毁有很大负面影响;在紫外波段,Zr元素含量大的薄膜吸收较大;并且提出负离子元素在膜料蒸发过程中形成气源中心,产生喷溅,从而使薄膜的损伤阈值降低.
范正修1,吴师岗1,易葵1,邵建达1,赵元安1
(1.中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800)
摘要:通过对HfO2膜料中杂质元素的分析,找出了影响薄膜性能的主要杂质元素.结果表明:金属元素、吸收性介质元素的存在对薄膜的损毁有很大负面影响;在紫外波段,Zr元素含量大的薄膜吸收较大;并且提出负离子元素在膜料蒸发过程中形成气源中心,产生喷溅,从而使薄膜的损伤阈值降低.
关键词:HfO2膜料; 杂质; 金属; 吸收性介质; Zr元素; 负离子元素;
【全文内容正在添加中】