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The Effect of Interface Layer on the Binding Ability in PVD Surface Coating ZOU Wei-feng1,LI Guo-qing2,ZHANG Hai-jun2,ZHU Hua-ming1 (1.East China Jiaotong University, Nanchang 330013,China;2.Institute of Mechanical Science of Jiangxi Province, Nanchang 330002) 摘要:The effect of the interface layer on binding ability PVD surface coating was researched . the experiment result showed that TiN......
切削刀具PVD涂层技术的发展及应用 谢宏1 (1.株洲硬质合金厂,株洲,412000) 摘要:PVD涂层是利用蒸发,辉光放电等物理过程,在基材表面沉积出所需要的涂层的技术,通常采用的PVD技术有蒸发镀膜,离子镀膜和溅射镀膜三大类,其中离子镀和溅射镀适合于对切削刀具进行超硬材料涂层.本文着重介绍了溅射镀技术及采用该技术生产的几种重要的涂层,结合实例介绍了它们的使用性能,并对PVD涂层切削刀具技术的研究进展,工业化生产及应用现状进行了综述. 关键词:PVD涂层; 磁控溅射镀膜; 切削刀具; 使用性能; [全文内容正在添加中] ......
Micro-scale Abrasion and Medium Load Multiple Scratch Tests of PVD Coatings. H. Sun & D.G. Teer1,S. Poulat1 (1.Teer Coatings Ltd, Droitwich, Worcestershire, U.K.) 摘要:Micro-scale abrasion testing... if there is any correlation between the two sets of results; the multiple scratch tests wear tracks are also observed to determine the wear mechanisms involved. 关键词:PVD coatings; Abrasion; Scratch test; [全文......
PVD Si涂层用于SiC陶瓷的表面改性研究 谭寿洪1,唐惠东2 (1.中国科学院上海硅酸盐研究所,上海,200050;2.常州工程职业技术学院材料工程技术系,常州,213164) 摘要:为了获得高质量的光学表面,采用RF磁控溅射法在RB SiC和SSiC陶瓷表面涂覆一层结构致密的PVD Si涂层.采用XRD,AFM和表面轮廓仪对抛光后的PVDSi涂层进行了表征,并在可见光波长范围内测量了涂层的反射率.结果表明,当RB SiC和SSiC陶瓷表面涂覆PVD Si涂层后,抛光后其表面缺陷明显减少,表面粗糙度的均方根RMS可达埃级,反射率提升幅度明显.并简单分析了反射率提高的主要原因. 关键词:PVD Si涂层; RB SiC; SSiC; 表面粗糙度均方根RMS; 反射率; [全文内容正在添加中] ......
低温PVD法制备多组分超硬薄膜研究 刘大鹏1,苗赫濯1,李文治1,齐龙浩1,彭志坚1 (1.清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京,100084) 摘要:对薄膜淀积的各种PVD技术和新型薄膜研究进展进行了综述,讨论了多组分硬质薄膜低温制备存在的问题,指出了解决的办法;归纳了影响多组分硬质薄膜在三维基体上均匀,均质淀积的因素,重点讨论了基体旋转与靶源配置问题;指出了用低温PVD法淀积多组分超硬薄膜研究方向. 关键词:多组分薄膜; 硬质薄膜; 低温 PVD法; [全文内容正在添加中] ......
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PVD制备TiAlSiN涂层的研究进展彭笑1,朱丽慧1,Vineet Kumar2,刘一雄21. 上海大学材料科学与工程学院2. Kennametal Inc.摘 要:概述了物理气相沉积(PVD)技术制备TiAlSiN涂层的研究现状及发展趋势,详细分析了Si元素的添加及Si与Al元素的含量对TiAlSiN涂层的微观结构,力学性能,高温抗氧化性和热稳定性的影响.解决PVD制备TiAlSiN涂层较低的膜基结合力和较大的残余应力等问题应是今后重点研究的方向.关键词:物理气相沉积;TiAlSiN涂层;微观结构;力学性能;抗氧化性;热稳定性;......
Kinetic Monte Carlo模拟PVD薄膜生长的算法研究 李明伟1,单英春1,赫晓东1,史丽萍1 (1.哈尔滨工业大学,复合材料与结构研究所,黑龙江,哈尔滨,150080) 摘要:提出kinetic Monte Carlo模拟物理气相沉积(physical vapor deposition,简写为PVD)薄膜生长的新算法:用红黑树搜索实现跃迁路径选择及系统跃迁概率更新,通过比较红黑树搜索,线性查找,满二元树搜索的计算效率,综合分析了这3种方法的时间复杂度和空间复杂度.结果表明红黑树搜索优于其它两种搜索方法,模拟效率最高,更适合用于执行大系统的kinetic Monte Carlo模拟. 关键词:kinetic Monte Carlo; 红黑树; PVD; 薄膜; [全文内容正在添加中] ......
PVD薄膜生长的Monte Carlo模拟 李明伟1,单英春1,赫晓东1,李垚1,史丽萍1 (1.哈尔滨工业大学,复合材料研究所,黑龙江,哈尔滨,150001) 摘要:蒙特卡罗(Monte Carlo,MC)和分子动力学是模拟薄膜生长的两种基本方法.本文结合各种PVD技术的工艺特点,介绍了薄膜生长的Monte Carlo模拟.详尽地总结了载能粒子沉积薄膜生长的Kinetic Monte Carlo模型和算法.最后指出建立精细的模型,算法并适当应用分子动力学是提高模拟可靠性的方法. 关键词:物理气相沉积; 蒙特卡罗模拟; 薄膜生长; [全文内容正在添加中] ......
基板温度对PVD薄膜分维的影响 李明伟1,单英春3,赫晓东1,何飞1,徐久军3 (1.哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所,黑龙江,哈尔滨,150080;2.成都飞机设计研究所,四川,成都,610041;3.大连海事大学机电与材料工程学院,辽宁,大连,116026) 摘要:采用动态蒙特卡罗(KMC)方法研究物理气相沉积(PVD)制备薄膜过程中基板温度对薄膜微观结构的影响,并用分维理论研究薄膜...糙,直到基板温度降到250 K时,分维达到最大的稳定值2.32,表面情况非常复杂,具有细致的皱褶和缺陷.分维与基板温度之间的关系说明高基板温度有利于分维小,表面光滑薄膜的制备,而低基板温度使薄膜分维增大,表面结构更加复杂.该研究结果与基板温度对PVD薄膜表面粗糙度影响的研究结果趋势上一致,分维能更细致地评价薄膜表面的复杂程度. 关键词:分维; 基板温度; 薄膜; PVD; KMC; [全文内......