共搜索到11385条信息,每页显示10条信息,共1139页。用时:0小时0分0秒265毫秒
film; c-axis orientation; free-standing diamond film; surface acoustic wave device; radio-frequency magnetron sputtering 1 Introduction Diamond has the highest acoustic wave velocity among all...) magnetron sputtering was investigated, and the optimal conditions for ZnO film with high quality and c-axis orientation were obtained. 2 Experimental The 100 μm thick polycrystalline diamond layers......
SiC长纤维表面(Al+Al2O3)复合涂层的制备张露1,石南林1,宫骏1,裴志亮1,高立军1,孙超1(1.辽宁省沈阳市科学院金属研究所)摘 要:利用反应磁控溅射法在SiC长纤维表面沉积了(Al+Al2O3)扩散阻挡涂层,研究了沉积工艺参数对涂层的成分,沉积速率的影响,以及涂层对SiC纤维的表面残余应力及力学性能的影响.结果表明,随着溅射功率的增加,Al2O3涂层的沉积速率先迅速增加后缓慢增加;随着工作气压的增加,Al2O3涂层的沉积速率先缓慢降低,在工作气压到达一定值时,沉积速率快速下降随后缓慢下降.沉积的(......
and analysis of In2O3-SnO2 thin films deposited by magnetic sputtering LI Shi-tao, QIAO Xue-liang, CHEN Jian-guo (State Key Laboratory of Die and Mould Technology, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China) Abstract: The ITO thin films were prepared by radio frequency magnetic sputtering using a ceramic target with mass ratio of In2O3 to SnO2 1∶1. The experiment parameters......
磁控溅射法制备TiB2涂层的研究进展 李立1,张隆平1,何庆兵1,孙彩云1,吴护林1 (1.中国兵器工业第五九研究所,重庆,400039) 摘要:TiB2熔点高,硬度高,密度低,电阻率低,高温下化学稳定性好,是一种应用潜力巨大的涂层材料.磁控溅射法是一种重要的制备TiB2涂层的物理气相沉积方法,具有沉积温度低,基体可选择范围大的优点.分析和总结了偏压大小与极性,基体温度和气压等工艺参数对涂层沉积速率,显微结构(包括形貌,结晶度,织构和晶粒尺寸等),性能(包括硬度,弹性模量,结合强度和摩擦学性能)和残余应力的影响,并概括了目前降低残余应力的途径. 关键词:TiB2涂层; 磁控溅射法; 性能; 残余应力; TiB2 coating; magnetron sputtering method; properties; residual stress; [全文内容正在添加中] ......
系统; 磁记录介质; FePt/Ti granular films; facing-target magnetron sputtering system; magnetic recording media; [全文内容正在添加中] ......
系统; 磁记录介质; FePt/Ti granular films; facing-target magnetron sputtering system; magnetic recording media; [全文内容正在添加中] ......
荷电粉尘在交变电场中的凝并与收集向晓东,陈宝智,张国权摘 要:应用类似于Williams 求声凝并系数的方法导出异性荷电粉尘在交变电场中的凝并系数,根据粉尘凝并过程趋于"自保分布"的概念,得出粉尘中位径随凝并时间变化关系式和异极性荷电粉尘在交变电场中的凝并除尘效率近似计算式·提出一种新型双区式电凝并除尘装置,在相同条件下,理论与试验研究结果表明:新型双区电凝并除尘装置的除尘效率不仅高于电除尘器,而且在结构上优于三区电凝并除尘装置·关键词:交变电场;静电凝并;除尘效率;......
荷电水雾除尘技术试验陈宜华摘 要:从水雾荷电,水雾粒捕尘机理作用的理论分析,对水雾荷电方式,荷电量(平均荷质比),荷电水雾除尘效率进行试验研究,得出水雾带上一定的电荷和电量,与含尘空气中粉尘粒子混合接触,通过静电效应提高对微细粉尘的除尘效率.关键词:荷电水雾除尘技术;捕尘;微细粉尘;静电效应;......
矿用动力电池荷电状态预测谈发明1,王琪21. 江苏理工学院信息中心2. 江苏理工学院电气信息工程学院摘 要:针对最小二乘支持向量机(LSSVM)用于预测矿用动力电池荷电状态(SOC)时正则化参数和核函数参数难以优化选择,灰狼优化(GWO)算法在单独求解约束优化问题时出现早熟,稳定性差,易陷入局部最优等问题,在差分进化灰狼优化(DE-GWO)算法的基础上,采用指数函数形式的非线性收敛因子对DEGWO算法进行改进.该非线性收敛因子在迭代过程前段衰减速率低,能更好地寻找全局最优解,在迭代过程后段衰减速率高,能更精......
ZnS薄膜的溅射沉积及其XPS研究 龚海梅1,汤定元1,周咏东2,李言谨1,方家熊1 (1.中国科学院上海技术物理研究所,上海200083;2.苏州大学物理系,苏州215006) 摘要:用Ar+束溅射沉积技术在HgCdTe表面实现了ZnS的低温沉积.用 X射线光电子能谱(XPS)对上述ZnS薄膜以及热蒸发ZnS薄膜中的Zn,S元素的化学环境进行了对比实验研究.实验表明:离子束溅射沉积ZnS薄膜具有很好的组份均匀性,未探测到元素Zn,S的沉积. 关键词:ZnS; 离子束溅射沉积; XPS; HgCdTe; 表面抗反射膜; ZnS; ion beam sputtering deposition technique; XPS; HgCdTe; surface anti-reflection coat; [全文内容正在添加中] ......