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热处理对两种铜膜结合强度的影响 张世骥1,刘杨秋1,梁彤祥1 (1.清华大学,北京,100084) 摘要:采用PVD和CVD技术制备Cu/TiN/PI试样.研究表明,TiN薄膜可以有效地阻挡Cu向PI基板内部扩散.CVD工艺制备的Cu膜内部残余应力很小,Cu膜有相对高的结合强度;而PVD制备的Cu膜,在有TiN阻挡层存在的情况下,Cu膜内存在拉应力,拉应力降低了Cu膜结合强度.300℃退火可以消除膜内残余应力,结合强度提高. 关键词:热处理; 基板; 铜薄膜; TiN; [全文内容正在添加中] ......
(PS–PVD) is a unique technology that enables highly tailorable functional films and coatings with various rare metal elements to be processed. This technology bridges the gap between conventional thermal spray and vapor deposition and provides a variety of coating microstructures composed of vapor, liquid, and solid deposition units. The PS–PVD technique serves a broad range of applications......
SiC-B4C复合膜的制备及其力学和热电性能 王新华1 (1.浙江大学,材料科学与工程系,杭州,310027) 摘要:探索了 SiC-B4C复合膜的热等离子体 PVD(TPPVD)法快速制备,研究了 SiC-B4C复合膜的力学性能和热电性能.实验结果表明:以 SiC和 B4C超细粉为原料的热等离子体PVD(TPPVD)法是快速制备 SiC-B4C复合膜的有效方法.通过控制 SiC和 B4C粉末的供给,可以获得具有层状结构的 SiC-B4C致密优质复合膜,最大沉积速度达356 nm/s,高于常规 PVD和 CVD法两个数量级.膜的硬度随 B4C含量增加而增大,最大显微维氏硬度达到 35 GPa.SiC-B4C复合膜的电阻率和 Seebeck系数随 B4C含量增加而减小.最大 Seebeck系数为 550 μVK-1,在 973 K时最大功率因子达到640 μWm-1K-2,是SiC烧......
NbC含量对Ti(C,N)基金属陶瓷PVD-TiAlCrSiN涂层组织与摩擦性能的影响孙磊,熊计,杨天恩,郭智兴,刘俊波四川大学制造科学与工程学院摘 要:通过粉末冶金方法制备了不同NbC质量分数(0%,3%,6%,9%,12%)的Ti(C,N)基金属陶瓷,然后在所制得的金属陶瓷基体表面通过物理气相沉积法(PVD)涂覆TiAlCrSiN涂层.通过SEM,EDS等手段对该金属陶瓷涂覆TiAlCrSiN涂层前后基体进行了观察和分析,并对基体的微观组织结构和力学性能及其涂层的附着力和摩擦性能进行了研究.结果表明:当NbC添加量为6%时,金属陶瓷的综合力学性能最好;随着NbC质量分数的增加,基体晶粒得到了细化,黏结相分布更加均匀,但是,涂层的附着力有所降低,摩擦系数逐渐下降.在PVD沉积TiAlCrSiN涂层时......
文章编号: 1004-0609(2006)06-0994-05 Si基上羟基磷灰石/Al2O3复合生物涂层的制备 何莉萍1, 陈宗璋2, 吴振军2 (1. 湖南大学 机械与汽车工程学院, 长沙 410082; 2. 湖南大学 材料科学与工程学院, 长沙 410082) 摘 要: 采用物理气相沉积(PVD)与阳极氧化与电沉积相结合的复合技术在Sia基表面制备了羟基磷灰石(HA... vapor deposition (PVD), anodization and electro-deposition. Scanning electron microscopy (SEM), energy dispersive spectroscopy (EDS) and X-ray diffractometry (XRD) were employed to investigate......
化学蒸气沉积涂层技术提高了铝挤压模具使用寿命苏鸿英摘 要:<正>前言Preface CVD和PVD(phgsical vapour deposition)(即物理蒸气沉积)两种涂层方法被视为切割工具的现代化技术.对于铝挤压模具,在强化模具抗磨性能方面,涂层技术起一定作用,而氮化工艺仍是主要的涂层方法.关键词:......
表面处理和涂层技术的新进展及新用途黄金昌,徐秀茹摘 要:物理气相沉积(PVD)已得到广泛的工业应用.而双重处理,低温沉积TiN和Ti2N等新的涂层技术目前正在研究中,其应用领域人们尚未完全了解.本文则对这些涂层的基本工艺,主要性能和应用前景作一简要介绍.关键词:双重处理;涂层技术;低温PVD;......
高速工具钢W6Mo5Cr4V2表面不同DLC处理后的性能探讨 孔蕊弘1,梁小伟2,李浩源1 (1.上海日立电器有限公司;2.同济大学材料科学与工程学院,上海市金属功能材料开发应用重点实验室,上海,200092) 摘要:设计了过渡层和梯度膜结构,采用PVD磁控溅射工艺和PVD磁控溅射+PECVD(脉冲等离子增强化学气相沉积)复合工艺在高速工具钢W6Mo5Cr4V2表面制备不同的类金刚石(Diamond-like Carbon,DLC)膜:Ti过渡层+DLC膜以及CrN+CrNC+CrC+DLC(掺杂Cr)硬质膜.对这两种膜层的成分,结构,形貌和力学性能的对比分析发现,前者表面粗糙度小,但是后者的综合力学性能更好. 关键词:类金刚石膜; 磁控溅射; 脉冲等离子增强化学气相沉积; 高速工具钢; [全文内容正在添加中] ......
硬质合金及耐磨涂层:理论设计及产品开发(Ⅲ)邱联昌1,许雨翔2,王少卿3,杜勇1,郑峰1,金展鹏11. 中南大学粉末冶金国家重点实验室2. 广东工业大学机电工程学院3. 石家庄铁道大学材料科学与工程学院摘 要:热力学和第一性原理计算在材料设计方面发挥着重要的作用,通过这些理论预测能够快速确定材料工艺-成分-结构-性能之间的关系.本文主要介绍了热力学计算在化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition,简称CVD)涂层以及第一性原理计算在物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,简称PVD)涂层设计开发方面的应用,并以CVD TiSiN和PVD纳米多层TiAlN/ZrN新型涂层开发为例,详细阐述了热力学和第一性原理计算的具体作用.理论计算与关键实验验证相结合是提......
伪装网雷达吸波涂层的研制 () 摘要:采用化学镀或PVD的方法在基材沉积Ni金属层,Ni层与纳米晶金属粉涂层构成的复合涂层应用于三维伪装网时,该复合涂层具有厚度薄,面密度小,吸波频带宽,吸波性能好的特点,在2~18GHz频率范围内最小反射率达到-18.24dB. 关键词:纳米晶; 伪装网; 吸波; 化学镀; [全文内容正在添加中] ......