粒度分级对TiB₂惰性阴极涂层导电性能影响研究

钱琪所^1,2，梅向阳^1,2，于站良^3,2，王有维³，谢刚³

1. 云南省环境工程评估中心2. 省部共建复杂有色金属资源清洁利用国家重点实验室3. 昆明冶金研究院冶金研究所

摘 要：采用等离子喷涂法制备不同粒度的TiB₂惰性阴极涂层,利用双电测四探针法测量粒度分级下TiB₂涂层的电阻率,研究粒度分级对涂层电阻率的影响。结果表明:涂层的电阻率与喷涂的粒度有很大的关系,当喷涂TiB₂粉末粒度在-325⁺400目范围内导电性最好,电阻率最小,低至19.66 mΩ·cm。并对粒度分级下TiB₂涂层进行微观形貌、XRD分析,探究粒度分级下微观组织形貌与电阻率的关系,结果显示:粒度在-325⁺400目范围涂层内部结构最致密,行核率最高,造成组织弥散强化,颗粒熔化较好,孔隙率减小,从而使电阻率减小,导电性提高;同时喷涂过程中氧化产物引起的润湿角差异影响熔滴的铺展、扁平化导致孔隙的再现,使涂层孔隙率增加,致密度下降,电导率降低。

关键词：等离子喷涂;粒度分级;TiB2惰性阴极涂层;电阻率;