简介概要

纳米球刻蚀技术

来源期刊：功能材料2005年第9期

论文作者：钟智勇刘爽张怀武赵文多李敏姬

关键词：纳米球刻蚀; 纳米阵列; 纳米加工;

摘要：纳米球刻蚀技术是一种并行的制备纳米点阵的自组装方法,其核心是二维有序纳米胶体球阵列掩膜的制备.本文详细介绍了二维有序纳米胶体球阵列掩膜的各种自组装合成原理与方法,分析了各种工艺参数的纳米阵列的影响.最后,综述了纳米球刻蚀技术的发展状况与趋势.

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钟智勇¹，刘爽²，张怀武¹，赵文多¹，李敏姬¹

(1.电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054;
2.电子科技大学光电信息学院,四川,成都,610054)

摘要:纳米球刻蚀技术是一种并行的制备纳米点阵的自组装方法,其核心是二维有序纳米胶体球阵列掩膜的制备.本文详细介绍了二维有序纳米胶体球阵列掩膜的各种自组装合成原理与方法,分析了各种工艺参数的纳米阵列的影响.最后,综述了纳米球刻蚀技术的发展状况与趋势.

关键词:纳米球刻蚀; 纳米阵列; 纳米加工;

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