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单晶硅片纳米磨粒磨损的AFM模拟

来源期刊：材料科学与工程学报2007年第2期

论文作者：安伟赵永武王春

关键词：AFM; 模拟; 纳米磨粒;

摘要：当前的CMP磨损模型中,大多数主要是基于理论分析以及CMP中宏观影响因素所建立,并且都欠缺微观试验的证明.本文提出使用原子力显微镜(AFM)作为CMP中单个纳米磨粒模拟的方法,来验证模拟实验中载荷与扫描速率对微观磨损的影响,并依据此模拟试验的结果探讨了CMP磨损机理.

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安伟¹，赵永武¹，王春¹

(1.江南大学机械工程学院,江苏,无锡,214122)

摘要:当前的CMP磨损模型中,大多数主要是基于理论分析以及CMP中宏观影响因素所建立,并且都欠缺微观试验的证明.本文提出使用原子力显微镜(AFM)作为CMP中单个纳米磨粒模拟的方法,来验证模拟实验中载荷与扫描速率对微观磨损的影响,并依据此模拟试验的结果探讨了CMP磨损机理.

关键词:AFM; 模拟; 纳米磨粒;

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