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基于三元镶嵌靶的反应溅射沉积涂层成分模拟计算

来源期刊：功能材料2014年第S1期

论文作者：张旭海曾宇乔蒋建清

文章页码：155 - 159

关键词：成分模拟;三元复合靶;反应溅射;

摘要：成分的有效控制是多元涂层材料研究和应用中的重点和难点。在反应溅射沉积Berg模型基础上建立了多元镶嵌靶溅射沉积涂层的成分模拟方法,以Ti、Al和石墨三元镶嵌靶为例,模拟了靶材石墨含量及N2分压对TiAlCN涂层中Ti/Al原子比、C含量和N含量的影响,并对引起成分变化的内在原因进行了探讨。

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张旭海，曾宇乔，蒋建清

东南大学材料科学与工程学院江苏省先进金属材料高技术研究重点实验室

关键词：成分模拟;三元复合靶;反应溅射;