氧化铝微米树的制备及其形成机理研究
来源期刊：材料导报2011年第10期
论文作者：赵世华 麻焕锋 贾廷见 崔玉亭 朱治广 赵青 蔡娜 王玲玲
文章页码：139 - 141
关键词：阳极氧化;微米树;形成机理;
摘 要：以草酸为电解液,采用两次阳极氧化法,结合高温退火和酒精中超声,制备了氧化铝的微米树结构。该微米树由明显的树干和树枝组成。树干的平均宽度在1μm左右,平均长度为20～30μm,而树枝的平均宽度为1～2μm,平均长度为3～5μm。微米树树干的形成并非沿单一方向生长,而呈明显的"X"交叉型生长模式。最后讨论了氧化铝微米树的形成机理。
赵世华1，麻焕锋1，贾廷见1，崔玉亭1，朱治广1，赵青1，蔡娜1，王玲玲2
1. 商丘师范学院物理与信息工程系2. 湖南大学物理与微电子科学学院
摘 要：以草酸为电解液,采用两次阳极氧化法,结合高温退火和酒精中超声,制备了氧化铝的微米树结构。该微米树由明显的树干和树枝组成。树干的平均宽度在1μm左右,平均长度为20～30μm,而树枝的平均宽度为1～2μm,平均长度为3～5μm。微米树树干的形成并非沿单一方向生长,而呈明显的"X"交叉型生长模式。最后讨论了氧化铝微米树的形成机理。
关键词：阳极氧化;微米树;形成机理;
