采用粉末溅射的SnO2/CeO2薄膜气敏材料及元件
来源期刊：功能材料与器件学报2004年第4期
论文作者：李秀宇 高红 蔡成森 邢建平 孟令国 李娟
关键词：反溅; 薄膜; 气敏元件;
摘 要：为改善气敏元件的性能 ,提高稳定性 ,采用粉末反溅研制了 SnO2/CeO2乙醇敏感材料 ,结果 表明:灵敏度在 CeO2掺杂范围 4%- 32%、膜厚 100- 180nm时较佳 ,特征时间τ与膜厚 l遵循 τ∝ l2规律 ,研制出乙醇灵敏度 20- 80、特征时间 < 15s的微型平面旁热式 SnO2气敏元件 ;元件 灵敏度测试存在一个 4.5- 10.5V相对稳定的测试电压区间 ,且在湿度影响下显著降低.
李秀宇1，高红2，蔡成森1，邢建平1，孟令国1，李娟1
(1.山东大学信息科学与工程学院,济南,250100;
2.山东冶金技术学院,济南,250000)
摘要:为改善气敏元件的性能 ,提高稳定性 ,采用粉末反溅研制了 SnO2/CeO2乙醇敏感材料 ,结果 表明:灵敏度在 CeO2掺杂范围 4%- 32%、膜厚 100- 180nm时较佳 ,特征时间τ与膜厚 l遵循 τ∝ l2规律 ,研制出乙醇灵敏度 20- 80、特征时间 < 15s的微型平面旁热式 SnO2气敏元件 ;元件 灵敏度测试存在一个 4.5- 10.5V相对稳定的测试电压区间 ,且在湿度影响下显著降低.
关键词:反溅; 薄膜; 气敏元件;
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