电容式微加速度传感器微结构的拓扑优化

来源期刊：机械设计与制造2006年第6期

论文作者：刘齐茂 李微

文章页码：10 - 12

关键词：微加速度传感器;微电子机械系统;均匀化方法;拓扑优化;

摘    要：采用均匀化方法,以电容式微加速度传感器微结构的第一阶谐振频率为目标函数,以微结构的体积作为约束条件,建立了微结构的拓扑优化模型,对叉指式微加速度传感器微结构进行了拓扑优化设计,经计算获得满足体积约束并使第一阶谐振频率最大的微结构拓扑形式。计算结果表明该方法可以很好地解决微加速度传感器灵敏度和谐振频率这一对矛盾,在满足灵敏度的要求下提高微加速度传感器的测量范围上限,不失为一种先进的、有效的电容式微加速度传感器微结构的设计方法。