新型氧化物半导体气敏传感器的研究进展
来源期刊：材料导报2011年第23期
论文作者：林毓韬 徐涛 程定峰 柳清菊
文章页码：45 - 106
关键词：氧化物半导体;掺杂;气敏传感器;灵敏度;
摘 要：空气质量日益恶化问题引起了人们的重视。为了监控空气质量,研究者开发了很多种类的气敏传感器,其中氧化物半导体气敏传感器具有灵敏度高、制造成本低和信号测量手段简单等优点,成为了目前的主流产品。综述了该类型新型传感器的研究进展,介绍了其气敏机理、结构和制作方法,并概述了其存在的问题及今后的发展趋势。
林毓韬，徐涛，程定峰，柳清菊
云南大学云南省高校纳米材料与技术重点实验室
摘 要：空气质量日益恶化问题引起了人们的重视。为了监控空气质量,研究者开发了很多种类的气敏传感器,其中氧化物半导体气敏传感器具有灵敏度高、制造成本低和信号测量手段简单等优点,成为了目前的主流产品。综述了该类型新型传感器的研究进展,介绍了其气敏机理、结构和制作方法,并概述了其存在的问题及今后的发展趋势。
关键词：氧化物半导体;掺杂;气敏传感器;灵敏度;
