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静电激振法测量微机械材料的杨氏模量

来源期刊：材料科学与工程学报2001年第2期

论文作者：张以恒赵颉顾利忠苏菲

关键词：微机械材料; 杨氏模量; 静电激励;

摘要：利用蚀刻硅技术制造的微机械构件,由于特殊的制作工艺而需要对其材料的机械性能如杨氏模量等进行测试.这是随微机械技术的产生而提出的-个新课题.文章综述了微机械材料杨氏模量的静态测试法.提出了微机械材料杨氏模量的动态测试法--静电激振法.这种方法具有测试装置简单、测量容易、适应性广等特点.

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张以恒¹，赵颉¹，顾利忠¹，苏菲¹

(1.清华大学自动化系,)

摘要:利用蚀刻硅技术制造的微机械构件,由于特殊的制作工艺而需要对其材料的机械性能如杨氏模量等进行测试.这是随微机械技术的产生而提出的-个新课题.文章综述了微机械材料杨氏模量的静态测试法.提出了微机械材料杨氏模量的动态测试法--静电激振法.这种方法具有测试装置简单、测量容易、适应性广等特点.

关键词:微机械材料; 杨氏模量; 静电激励;

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