溶胶-凝胶法制备K-N共掺ZnO薄膜的结构及光学特性

来源期刊：功能材料2013年第22期

论文作者：张振兴 张海军 廖梦舟 周华 谢二庆 潘孝军

文章页码：3301 - 3304

关键词：ZnO薄膜;K-N共掺杂;光学带隙;光致发光谱;溶胶-凝胶法;

摘    要：采用溶胶-凝胶法在Si（100）衬底上生长了K与N共掺的ZnO薄膜,并用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、荧光分光光度计、紫外-可见分光光度计对ZnO薄膜样品的结构和光学特性进行了研究。结果表明,溶胶-凝胶法制备的ZnO薄膜为六方纤锌矿结构。随着K掺杂浓度的增大,薄膜的结晶性变好,组成薄膜的颗粒变大,并表现出c轴择优生长特性,同时掺杂导致的氧空位缺陷也在增加,使得绿光发射增强,薄膜的光学带隙先增后减。