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C60薄膜的热处理性能研究

来源期刊：无机材料学报2000年第5期

论文作者：刘波王豪

关键词：C60薄膜; AES; 石墨类碳碎片; SiC; C60 film; AES; graphite-like carbon fragmentation; SiC;

摘要：通过对Si(100)衬底上C60薄膜在不同温度处理后的AES谱线研究发现， C60分子于973K时开始分解，生成石墨类碳碎片，1073K时C原子已与Si原子键合形成SiC，1123K时C60分子全部分解. 这一研究结果对解释C60分子促进金刚石成核将起到重要作用.

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刘波¹，王豪¹

(1.中国科学院上海光学精密机械研究所，上海　201800)

摘要:通过对Si(100)衬底上C60薄膜在不同温度处理后的AES谱线研究发现， C60分子于973K时开始分解，生成石墨类碳碎片，1073K时C原子已与Si原子键合形成SiC，1123K时C60分子全部分解. 这一研究结果对解释C60分子促进金刚石成核将起到重要作用.

关键词:C60薄膜; AES; 石墨类碳碎片; SiC; C60 film; AES; graphite-like carbon fragmentation; SiC;

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