锑化物激光器的研究进展
来源期刊：材料导报2007年第11期
论文作者：张永刚 刘盛
关键词：分子束外延; 锑化物; 激光器;
摘 要：锑化物激光器在2～5μm波段具有广阔的应用前景.综述了锑化物激光器的研究进展,重点论述了材料生长、结构设计、器件工艺、封装技术以及新的器件结构,讨论了其中存在的主要技术问题,并指出了锑化物激光器不断向长波长方向扩展的趋势.
张永刚1，刘盛1
(1.中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050;
2.中国科学院研究生院,北京,100039)
摘要:锑化物激光器在2～5μm波段具有广阔的应用前景.综述了锑化物激光器的研究进展,重点论述了材料生长、结构设计、器件工艺、封装技术以及新的器件结构,讨论了其中存在的主要技术问题,并指出了锑化物激光器不断向长波长方向扩展的趋势.
关键词:分子束外延; 锑化物; 激光器;
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