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CVD SiC涂层对3D C/SiC氧化行为的影响

来源期刊:无机材料学报2005年第1期

论文作者:张立同 成来飞 徐永东 陈照峰 吴守军

关键词:C/SiC复合材料; 涂层; 氧化; 缺陷;

摘    要:采用两种不同沉积速度的等温减压化学气相沉积在3D C/SiC上制备了多层CVDSiC涂层.利用扫描电镜对涂层表面和断面进行显微分析,考察了涂层在1300℃下进行恒温氧化的防护效果.慢速减压化学气相沉积能够对多层CVD SiC涂层的涂层间隙缺陷实现有效控制,所制备的多层涂层可以消除涂层间隙,连贯的结合为一整体,能显著提高涂层防护效果,材料在1300℃空气中氧化30h后的失重率可控制在1%以下.

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CVD SiC涂层对3D C/SiC氧化行为的影响

张立同1,成来飞1,徐永东1,陈照峰1,吴守军1

(1.西北工业大学超高温复合材料实验室,西安,710072)

摘要:采用两种不同沉积速度的等温减压化学气相沉积在3D C/SiC上制备了多层CVDSiC涂层.利用扫描电镜对涂层表面和断面进行显微分析,考察了涂层在1300℃下进行恒温氧化的防护效果.慢速减压化学气相沉积能够对多层CVD SiC涂层的涂层间隙缺陷实现有效控制,所制备的多层涂层可以消除涂层间隙,连贯的结合为一整体,能显著提高涂层防护效果,材料在1300℃空气中氧化30h后的失重率可控制在1%以下.

关键词:C/SiC复合材料; 涂层; 氧化; 缺陷;

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