新兴工业材料加工用金刚石工具
来源期刊:超硬材料工程2016年第2期
论文作者:刘一波 徐良
文章页码:27 - 31
关键词:单晶硅;多晶硅;蓝宝石;砂轮;线锯;
摘 要:文章简单综述了金刚石工具在光伏产业、LED和半导体等领域的应用,并介绍了单晶硅、多晶硅和蓝宝石的加工流程和加工过程中用到的金刚石工具,其中重点介绍了金刚石圆锯片、高精度钻头、金刚石线锯、超细粒度金刚石砂轮和金刚石超薄切割片,最后就国内金刚石工具的发展趋势做了简单阐述。
刘一波1,2,徐良2
1. 中国钢研科技集团有限公司2. 北京安泰钢研超硬材料制品有限责任公司
摘 要:文章简单综述了金刚石工具在光伏产业、LED和半导体等领域的应用,并介绍了单晶硅、多晶硅和蓝宝石的加工流程和加工过程中用到的金刚石工具,其中重点介绍了金刚石圆锯片、高精度钻头、金刚石线锯、超细粒度金刚石砂轮和金刚石超薄切割片,最后就国内金刚石工具的发展趋势做了简单阐述。
关键词:单晶硅;多晶硅;蓝宝石;砂轮;线锯;