氮化铝陶瓷表面钛金属化的研究
来源期刊：材料导报2002年第2期
论文作者：潘伟 黄奇良 胡忠
关键词：氮化铝陶瓷; 金属化; 歧化反应; 界面微观结构;
摘 要：利用熔盐热歧化反应在氮化铝陶瓷表面上成功地进行了钛金属化,成功地在氮化铝陶瓷表面上制备了钛金属化膜.还研究了温度、反应物浓度、反应时间对钛金属化膜厚度的影响.研究了金属膜的组成及界面反应机理和界面层的显微结构.研究发现,在热歧化反应沉积钛金属膜的过程中,沉积到AlN陶瓷表面的钛金属与AlN发生反应生成TiN03、TiN和Ti 9Al 2 3.
潘伟1，黄奇良2，胡忠2
(1.清华大学材料科学与工程系,北京100084;
2.广西民族学院化学化工系,南宁530006)
摘要:利用熔盐热歧化反应在氮化铝陶瓷表面上成功地进行了钛金属化,成功地在氮化铝陶瓷表面上制备了钛金属化膜.还研究了温度、反应物浓度、反应时间对钛金属化膜厚度的影响.研究了金属膜的组成及界面反应机理和界面层的显微结构.研究发现,在热歧化反应沉积钛金属膜的过程中,沉积到AlN陶瓷表面的钛金属与AlN发生反应生成TiN03、TiN和Ti 9Al 2 3.
关键词:氮化铝陶瓷; 金属化; 歧化反应; 界面微观结构;
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