基于微环谐振器的甲烷传感器

王文清¹，王晓璐²，田子建²

1. 北京市煤炭矿用机电设备技术开发有限公司2. 中国矿业大学(北京)机电与信息工程学院

摘 要：提出了一种新型的基于微环谐振器的甲烷传感器。该传感器通过微环表层的穴番A涂层来增加微环的有效折射率,使微环谐振器中谐振波长随甲烷浓度的增加而向右漂移;通过测量输出光信号的谐振波长推算出甲烷浓度。理论分析结果表明,该传感器的谐振波长变化范围在一个自由光谱范围内,甲烷浓度测量范围为0~15%;对比SOI材料和聚合物材料、单面敏感膜和三面敏感膜的测量结果,得出聚合物材料三面敏感膜微环的谐振波长变化幅度较大,测量灵敏度为60pm。

关键词：甲烷传感器;甲烷浓度测量;微环谐振器;敏感膜;