简介概要

多晶Al2O3薄膜的制备及其红外吸收谱研究

来源期刊：材料导报2008年增刊第1期

论文作者：王倩何蕾王磊贾丽娟许思友

关键词：Al2O3薄膜; 溅射; 退火; 多晶;

摘要：高能氢离子束溅射金属铝靶,沉积在单晶Si基片上的非晶薄膜是Al和Al2O3的混合物.在空气中对其进行900～1200℃的热处理,成功地制备了以不同结晶形式存在的多晶Al2 O3薄膜,讨论了不同退火温度对其结晶性能、表面形貌及红外吸收光谱的影响.为Al2O3薄膜制备与应用提供了良好借鉴.

详情信息展示

王倩¹，何蕾¹，王磊¹，贾丽娟¹，许思友¹

(1.新疆大学物理科学与技术学院,乌鲁木齐,830046)

摘要:高能氢离子束溅射金属铝靶,沉积在单晶Si基片上的非晶薄膜是Al和Al2O3的混合物.在空气中对其进行900～1200℃的热处理,成功地制备了以不同结晶形式存在的多晶Al2 O3薄膜,讨论了不同退火温度对其结晶性能、表面形貌及红外吸收光谱的影响.为Al2O3薄膜制备与应用提供了良好借鉴.

关键词:Al2O3薄膜; 溅射; 退火; 多晶;

【全文内容正在添加中】