隧道二极管用锗单晶制备的温场设计
来源期刊：稀有金属1998年第2期
论文作者：韩兆忠 胡国元 杨海 褚乃林
关键词：温场; 锗; 单晶; 重掺;
摘 要：通过设计合适的温场, 解决了重掺单晶生长过程中的组分过冷和位错密度高的问题, 获得了高掺杂浓度高迁移率的无位错单晶.
韩兆忠1，胡国元1，杨海1，褚乃林1
(1.北京有色金属研究总院,北京100088)
摘要:通过设计合适的温场, 解决了重掺单晶生长过程中的组分过冷和位错密度高的问题, 获得了高掺杂浓度高迁移率的无位错单晶.
关键词:温场; 锗; 单晶; 重掺;
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