氮化硼薄膜制备技术研究进展
来源期刊:材料导报2005年增刊第2期
论文作者:王为民 贾铁昆
关键词:氮化硼; 薄膜; 等离子体; 物理气相沉积; 化学气相沉积;
摘 要:简述了氮化硼的优异性能和广阔的应用前景,概述了氮化硼薄膜的制备方法,分析了薄膜制备过程中的影响因素,最后对氮化硼薄膜今后的研究方向提出展望.
王为民1,贾铁昆1
(1.武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室,武汉,430070)
摘要:简述了氮化硼的优异性能和广阔的应用前景,概述了氮化硼薄膜的制备方法,分析了薄膜制备过程中的影响因素,最后对氮化硼薄膜今后的研究方向提出展望.
关键词:氮化硼; 薄膜; 等离子体; 物理气相沉积; 化学气相沉积;
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