钼溅射靶材的应用、制备及发展
来源期刊:中国钼业2011年第2期
论文作者:安耿 李晶 刘仁智 陈强 张常乐
文章页码:45 - 48
关键词:钼溅射靶材;应用;制备;发展;
摘 要:随着平面显示器行业和光伏行业的迅速发展,钼溅射靶材的需求量越来越大。本文就钼溅射靶材的特点,从其应用、市场、制备工艺以及发展趋势等方面进行了总结和讨论。
安耿,李晶,刘仁智,陈强,张常乐
金堆城钼业股份有限公司技术中心
摘 要:随着平面显示器行业和光伏行业的迅速发展,钼溅射靶材的需求量越来越大。本文就钼溅射靶材的特点,从其应用、市场、制备工艺以及发展趋势等方面进行了总结和讨论。
关键词:钼溅射靶材;应用;制备;发展;