纳米晶复合氧化物湿敏元件的特性研究
来源期刊:材料科学与工程学报2000年增刊第2期
论文作者:高鼎三 张彤 刘国范 任辉 董玮 徐宝琨 王兢
关键词:纳米晶; 相对湿度; 复阻抗; 电介质; 极化;
摘 要:利用纳米复合氧化物Ba0.5Sr0.5TiO3材料制作了电阻型湿度敏感元件,对元件进行湿敏特性测试后表明:该元件的阻抗-湿度特性良好,电阻范围适中,湿滞小,不需加热清洗.同时研究了其直流充电-放电特性和交流复阻抗特性,分析了敏感机理.
高鼎三1,张彤1,刘国范1,任辉1,董玮1,徐宝琨1,王兢1
(1.吉林大学电子工程系集成光电子国家重点联合实验室,长春,130023)
摘要:利用纳米复合氧化物Ba0.5Sr0.5TiO3材料制作了电阻型湿度敏感元件,对元件进行湿敏特性测试后表明:该元件的阻抗-湿度特性良好,电阻范围适中,湿滞小,不需加热清洗.同时研究了其直流充电-放电特性和交流复阻抗特性,分析了敏感机理.
关键词:纳米晶; 相对湿度; 复阻抗; 电介质; 极化;
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