Al含量对多弧离子镀Ti1-xAlxN涂层微观结构及性能的影响
来源期刊：有色金属2009年第4期
论文作者：于月光 袁建鹏 刘富荣
关键词：金属材料; Ti1-xAlxN涂层; 多弧离子镀; 组织结构; 涂层成分;
摘 要：通过不同Al含量的真空感应熔炼Ti1-x-Alx合金靶,采用多弧离子镀技术制备了Ti1-xAlxN涂层.用SEM,EDS等手段研究Al元素对涂层微观形貌和涂层成分的影响.结果表明,TiAlN涂层连续、光滑、孔隙率低、组织致密.随着Al含量的增加,涂层沉积效率降低、涂层硬度增加、涂层膜/基结合力先降低后升高.靶材成分还在一定程度上影响涂层的熔滴密度以及成分偏离程度.
于月光1，袁建鹏1，刘富荣1
(1.北京矿冶研究总院,100044,北京)
摘要:通过不同Al含量的真空感应熔炼Ti1-x-Alx合金靶,采用多弧离子镀技术制备了Ti1-xAlxN涂层.用SEM,EDS等手段研究Al元素对涂层微观形貌和涂层成分的影响.结果表明,TiAlN涂层连续、光滑、孔隙率低、组织致密.随着Al含量的增加,涂层沉积效率降低、涂层硬度增加、涂层膜/基结合力先降低后升高.靶材成分还在一定程度上影响涂层的熔滴密度以及成分偏离程度.
关键词:金属材料; Ti1-xAlxN涂层; 多弧离子镀; 组织结构; 涂层成分;
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