织构对CVD自支撑金刚石薄膜残余应变的影响
来源期刊：材料研究学报2007年第1期
论文作者：朱宏喜 毛卫民 冯惠平
关键词：无机非金属材料; 金刚石薄膜; 织构; 弹性模量; 残余应变;
摘 要：计算了薄膜试样不同方向的弹性模量,研究了织构和甲烷浓度对CVD自支撑金刚石薄膜的宏观残余应变的影响.结果表明,织构使CVD金刚石薄膜的弹性模量和宏观残余应变呈现各向异性.甲烷浓度的升高导致织构组分密度水平变化,使薄膜的弹性模量增大,从而降低残余应变;另一方面,杂质浓度的升高增大宏观残余应变.改变薄膜沉积工艺参数可调整织构,从而调节薄膜的残余应力.
朱宏喜1，毛卫民1，冯惠平1
(1.北京科技大学材料学系,北京,100083;
2.北京科技大学新金属材料国家重点实验室,北京,100083)
摘要:计算了薄膜试样不同方向的弹性模量,研究了织构和甲烷浓度对CVD自支撑金刚石薄膜的宏观残余应变的影响.结果表明,织构使CVD金刚石薄膜的弹性模量和宏观残余应变呈现各向异性.甲烷浓度的升高导致织构组分密度水平变化,使薄膜的弹性模量增大,从而降低残余应变;另一方面,杂质浓度的升高增大宏观残余应变.改变薄膜沉积工艺参数可调整织构,从而调节薄膜的残余应力.
关键词:无机非金属材料; 金刚石薄膜; 织构; 弹性模量; 残余应变;
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