(AlCrMoNbZr)1-x-yNyOx高熵合金涂层的制备及性能研究
来源期刊：功能材料2019年第4期
论文作者：常鸿 赵莎 刘春海
文章页码：4174 - 4179
关键词：磁控共溅射;高熵合金涂层;微结构;纳米硬度;耐腐蚀性能;
摘 要：采用多靶磁控共溅射技术的单靶功率可调特点,在Zr-4合金基底上,通过调节O2流量制备出（AlCrMoNbZr）1-x-yNyOx高熵合金涂层。利用X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）、纳米压痕仪（nanoindentation）以及电化学工作站等对不同O2流量下制备的（AlCrMoNbZr）1-x-yNyOx高熵合金涂层,进行了微观结构、形貌、纳米硬度以及耐腐蚀性能进行了表征与测试。结果表明,在O2氛围作用下,涂层相结构由fcc完全转变为bcc结构;随O2流量由0 mL/min增至15 mL/min,涂层纳米硬度由22 GPa快速降低至7 GPa;O2流量为10 mL/min的（AlCrMoNbZr）1-x-yNyOx高熵合金涂层表现出优异的耐腐蚀性能,其腐蚀电流密度较O2流量为0 mL/min的（AlCrMoNbZr）N涂层降低约6倍。
常鸿1，赵莎2，刘春海2
1. 核工业西南物理研究院2. 成都理工大学材料与化学化工学院
摘 要：采用多靶磁控共溅射技术的单靶功率可调特点,在Zr-4合金基底上,通过调节O2流量制备出（AlCrMoNbZr）1-x-yNyOx高熵合金涂层。利用X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）、纳米压痕仪（nanoindentation）以及电化学工作站等对不同O2流量下制备的（AlCrMoNbZr）1-x-yNyOx高熵合金涂层,进行了微观结构、形貌、纳米硬度以及耐腐蚀性能进行了表征与测试。结果表明,在O2氛围作用下,涂层相结构由fcc完全转变为bcc结构;随O2流量由0 mL/min增至15 mL/min,涂层纳米硬度由22 GPa快速降低至7 GPa;O2流量为10 mL/min的（AlCrMoNbZr）1-x-yNyOx高熵合金涂层表现出优异的耐腐蚀性能,其腐蚀电流密度较O2流量为0 mL/min的（AlCrMoNbZr）N涂层降低约6倍。
关键词：磁控共溅射;高熵合金涂层;微结构;纳米硬度;耐腐蚀性能;
