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脉冲激光沉积有机薄膜

来源期刊：材料导报2007年第1期

论文作者：盛六四王淑芬张国斌李承祥王卫

关键词：脉冲激光沉积; 有机薄膜; 有机杂化膜; 复合薄膜;

摘要：脉冲激光沉积(PLD)技术是一门新兴的薄膜制备技术,在无机薄膜的制备和研究方面取得了令人满意的成果,技术也比较成熟.但利用脉冲激光沉积技术制备和研究有机膜方面的工作开展较晚,工作也比较少,尚未形成一个比较系统的体系.因此开展有机薄膜的脉冲激光沉积研究将具有重要的意义.

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盛六四¹，王淑芬²，张国斌¹，李承祥¹，王卫¹

(1.中国科学技术大学国家同步辐射实验室,合肥,230027;
2.山东理工大学数学与信息科学学院,淄博,255049)

摘要:脉冲激光沉积(PLD)技术是一门新兴的薄膜制备技术,在无机薄膜的制备和研究方面取得了令人满意的成果,技术也比较成熟.但利用脉冲激光沉积技术制备和研究有机膜方面的工作开展较晚,工作也比较少,尚未形成一个比较系统的体系.因此开展有机薄膜的脉冲激光沉积研究将具有重要的意义.

关键词:脉冲激光沉积; 有机薄膜; 有机杂化膜; 复合薄膜;

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