不锈钢表面溅射沉积氮化钛薄膜的结构与性能分析

来源期刊：钢铁钒钛2019年第6期

论文作者：罗学萍 赖奇

文章页码：52 - 56

关键词：201无镍不锈钢;磁控溅射;氮化钛;薄膜;择优取向;显微硬度;

摘    要：采用直流反应磁控溅射法,通过改变溅射时间在不锈钢表面溅射氮化钛薄膜。采用分析天平、SEM、XRD和显微硬度计等对薄膜的质量增加率、微观结构、外观形貌和显微硬度进行研究。结果发现随着溅射时间增加,薄膜的质量增大,厚度逐渐增加。XRD分析表明,TiN薄膜晶体结构为面心立方结构。溅射沉积氮化钛膜具有择优取向性:随溅射时间增加,由混合晶面生长向(111)择优取向变化;随着溅射时间增加,显微硬度总体呈上升的趋势。