高矫顽力NdFeB永磁薄膜的研究进展
来源期刊：磁性材料及器件2018年第6期
论文作者：刘文峰 张敏刚 张克维 柴跃生
文章页码：52 - 57
关键词：NdFeB永磁薄膜;高矫顽力;制备方法;磁控溅射;
摘 要：NdFeB永磁材料具有优异的性能而广泛应用于各种电子器件及系统中。电子器件及系统的微型化要求NdFeB永磁材料薄膜化,而绿色经济和低碳经济的发展又扩大了对高矫顽力NdFeB永磁薄膜的需求。综合介绍了NdFeB永磁薄膜的制备方法,着重论述了磁控溅射法制备高矫顽力Nd FeB永磁薄膜的研究进展,最后展望了高矫顽力NdFeB薄膜研究未来的发展方向。
刘文峰，张敏刚，张克维，柴跃生
太原科技大学材料科学与工程学院先进材料研究所
摘 要：NdFeB永磁材料具有优异的性能而广泛应用于各种电子器件及系统中。电子器件及系统的微型化要求NdFeB永磁材料薄膜化,而绿色经济和低碳经济的发展又扩大了对高矫顽力NdFeB永磁薄膜的需求。综合介绍了NdFeB永磁薄膜的制备方法,着重论述了磁控溅射法制备高矫顽力Nd FeB永磁薄膜的研究进展,最后展望了高矫顽力NdFeB薄膜研究未来的发展方向。
关键词：NdFeB永磁薄膜;高矫顽力;制备方法;磁控溅射;
