简介概要

有机废气净化工艺的选择及效果

来源期刊：矿冶2007年第2期

论文作者：程秀绵

关键词：有机废气; 碳吸附; 比表面;

摘要：本文通过对半导体工业的有机废气净化工艺及设备的分析,总结了各种净化工艺特点和应用的范围,在扩建工程中选择了合理的净化工艺及设备.经过一年的生产验证,有机废气达到国家大气污染物排放标准,与现有废气处理设备相比,节省了投资、降低了运行成本,经济效果明显.

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程秀绵¹

(1.首钢日电电子有限公司,北京100041)

摘要:本文通过对半导体工业的有机废气净化工艺及设备的分析,总结了各种净化工艺特点和应用的范围,在扩建工程中选择了合理的净化工艺及设备.经过一年的生产验证,有机废气达到国家大气污染物排放标准,与现有废气处理设备相比,节省了投资、降低了运行成本,经济效果明显.

关键词:有机废气; 碳吸附; 比表面;

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