ZrO2-SiO2膜的制备和结构研究
来源期刊：功能材料2000年第2期
论文作者：张育林 黄永前 胡英 郑昌琼
关键词：ZrO2-SiO2膜; 溶胶-凝胶; 制备; 结构; 热稳定性;
摘 要：以正硅酸乙酯和氧氯化锆为原料,用溶胶-凝胶法制备了无支撑ZrO2-SiO2膜.应用DTA-TG、XRD、SEM和BET 等测试技术对无支撑ZrO2-SiO2膜的结构、表面形貌和孔径进行了表征,结果表明ZrO2-SiO2凝胶膜虽在467℃开始出现少量单斜ZrO2,但在500℃和1200℃热处理后的主晶相均为四方 ZrO2,显然SiO2的存在阻碍了四方相ZrO2向单斜相ZrO2转变的过程,ZrO2-SiO2膜具有比ZrO2膜更高的热稳定性,在950℃烧结的无支撑ZrO2-SiO2膜孔径稍呈双峰分布,其最可几孔径为3.35nm.
张育林1，黄永前1，胡英1，郑昌琼1
(1.四川大学无机材料系.四川,成都,610065)
摘要:以正硅酸乙酯和氧氯化锆为原料,用溶胶-凝胶法制备了无支撑ZrO2-SiO2膜.应用DTA-TG、XRD、SEM和BET 等测试技术对无支撑ZrO2-SiO2膜的结构、表面形貌和孔径进行了表征,结果表明ZrO2-SiO2凝胶膜虽在467℃开始出现少量单斜ZrO2,但在500℃和1200℃热处理后的主晶相均为四方 ZrO2,显然SiO2的存在阻碍了四方相ZrO2向单斜相ZrO2转变的过程,ZrO2-SiO2膜具有比ZrO2膜更高的热稳定性,在950℃烧结的无支撑ZrO2-SiO2膜孔径稍呈双峰分布,其最可几孔径为3.35nm.
关键词:ZrO2-SiO2膜; 溶胶-凝胶; 制备; 结构; 热稳定性;
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