单晶硅的中子辐射掺杂
来源期刊：中国有色冶金1983年第6期
论文作者：В·А·哈尔琴柯 丁德才
文章页码：36 - 39
摘 要：<正> 目前,用原子核转化法掺杂的硅产量(大功率仪表用)占世界无坩埚区熔法生产的硅产量50%以上。生产量迅速增长的前提,是原子核转化法可以解决掺杂均匀性问题,即在原材料中实现掺入磷的规定浓度,并保证其均匀分布。从达到的电阻率分布均匀性和掺杂精确性来看,人所共知的冶金方法目前是不能与原子核转化法相比的。为使核转化法所具有的优越
В·А·哈尔琴柯，丁德才
摘 要：<正> 目前,用原子核转化法掺杂的硅产量(大功率仪表用)占世界无坩埚区熔法生产的硅产量50%以上。生产量迅速增长的前提,是原子核转化法可以解决掺杂均匀性问题,即在原材料中实现掺入磷的规定浓度,并保证其均匀分布。从达到的电阻率分布均匀性和掺杂精确性来看,人所共知的冶金方法目前是不能与原子核转化法相比的。为使核转化法所具有的优越
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