常压烧结SiC超光滑抛光性能研究
来源期刊：粉末冶金工业2016年第4期
论文作者：刘秀 贺智勇 千粉玲 王晓波 张启富
文章页码：55 - 59
关键词：SiC;常压烧结;磨料;金刚石;表面粗糙度;
摘 要：采用常压烧结的方法制备了反射镜用SiC陶瓷材料。研究了金刚石、氧化铬（Cr2O3）和二氧化硅（SiO2）3种磨料对常压烧结SiC陶瓷抛光性能的影响。结果表明,常压烧结SiC的各项物理性能满足反射镜基底材料的基本要求;金刚石磨料与常压烧结SiC陶瓷的硬度差最小,且超顺滑抛光过程中金刚石磨粒形状在SiC陶瓷表面产生的位错、空位等缺陷最少,因此采用金刚石磨料时,常压烧结SiC陶瓷的表面质量最好,其表面粗糙度值（RMS）为0.789 nm,面形精度为0.007λ（λ=0.632 8μm）,满足反射镜的使用要求。
刘秀1，贺智勇2，千粉玲2，王晓波2，张启富1,2
1. 钢铁研究总院2. 中国钢研科技集团有限公司
摘 要：采用常压烧结的方法制备了反射镜用SiC陶瓷材料。研究了金刚石、氧化铬（Cr2O3）和二氧化硅（SiO2）3种磨料对常压烧结SiC陶瓷抛光性能的影响。结果表明,常压烧结SiC的各项物理性能满足反射镜基底材料的基本要求;金刚石磨料与常压烧结SiC陶瓷的硬度差最小,且超顺滑抛光过程中金刚石磨粒形状在SiC陶瓷表面产生的位错、空位等缺陷最少,因此采用金刚石磨料时,常压烧结SiC陶瓷的表面质量最好,其表面粗糙度值（RMS）为0.789 nm,面形精度为0.007λ（λ=0.632 8μm）,满足反射镜的使用要求。
关键词：SiC;常压烧结;磨料;金刚石;表面粗糙度;
