固相反应合成β-SiC粉体的工艺参数对其介电性能的影响

苏晓磊¹，周万城²，徐洁¹，王俊勃¹，贺辛亥¹，付翀¹

1. 西安工程大学机电工程学院2. 西北工业大学凝固技术国家重点实验室

摘 要：采用固相反应合成法,以硅粉和炭黑为原料,分别在0.1MPa的氩气和氮气气氛中合成β-SiC粉体。通过X射线衍射和扫描电镜对合成粉体的物相、微观结构及形貌进行了表征。同时在8.2～12.4GHz频率范围内进行了介电性能测试。结果表明,在氩气中合成β-SiC粉体其晶格参数小于在氮气中合成粉体的晶格参数,两者均小于标准值,但介电参数表现出了相反的趋势。讨论了合成机理和气氛对SiC介电性能的影响。

关键词：碳化硅;介电性能;固相反应;