丝织构对薄膜X射线残余应力分析的影响
来源期刊：机械工程材料2001年第5期
论文作者：张铭 何家文
关键词：丝织构; 弹性常数; 残余应力; 薄膜; X射线衍射;
摘 要：具有择尤取向的薄膜材料因弹性呈现各向异性，在利用X射线衍射法测定薄膜残余应力时，常发生d-sin2ψ测试曲线的非线性振荡，无法得到准确的应力值。本文利用Voigt、Reuss和Kroner模型计算了TiN薄膜的弹性常数随ψ角的分布在低ψ角区发生的弯曲。与实测PVD TiN薄膜的应力测试曲线的弯曲情况相似，说明丝织构的确可能造成薄膜应力测试d-sin2ψ曲线的低ψ角弯曲。
张铭1，何家文1
(1.西安交通大学)
摘要:具有择尤取向的薄膜材料因弹性呈现各向异性，在利用X射线衍射法测定薄膜残余应力时，常发生d-sin2ψ测试曲线的非线性振荡，无法得到准确的应力值。本文利用Voigt、Reuss和Kroner模型计算了TiN薄膜的弹性常数随ψ角的分布在低ψ角区发生的弯曲。与实测PVD TiN薄膜的应力测试曲线的弯曲情况相似，说明丝织构的确可能造成薄膜应力测试d-sin2ψ曲线的低ψ角弯曲。
关键词:丝织构; 弹性常数; 残余应力; 薄膜; X射线衍射;
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