一种太阳电池纳米陷光结构的制备方法

张福庆¹，程广贵¹，郭立强¹，凌智勇¹，张忠强¹，袁宁一^2,3，丁建宁^1,2,3

1. 江苏大学机械工程学院,微纳米实验中心2. 常州大学材料学院,低维材料、微纳器件与系统中心3. 常州大学材料学院,江苏省太阳能材料与技术实验室

摘 要：提出了一种利用石墨纳米颗粒作为掩膜,通过金属辅助刻蚀来制备具有低反射率的太阳电池纳米陷光结构的方法。用该方法制得了一种表面覆盖有纳米线和纳米孔的太阳电池纳米陷光结构。结合金属辅助刻蚀的机制和这种陷光结构的形成原理,分析了石墨纳米颗粒和H2O2浓度对陷光结构形貌的影响,并讨论了陷光结构的形貌对样品陷光性能的影响。最后,制得了在300～1100nm波长范围内平均反射率仅为3.6%的太阳电池陷光层。

关键词：陷光;石墨纳米颗粒;金属辅助化学刻蚀;减反射;形貌;