多层及交替多层NdFeB/Nd薄膜的磁性能

来源期刊：稀有金属材料与工程2017年第1期

论文作者：张敏刚 刘丽 陈峰华 李敏杰

文章页码：270 - 273

关键词：磁控溅射;NdFeB/Nd薄膜;磁性能;

摘    要：采用磁控溅射法制备了Nd Fe B/Nd 2组薄膜,经650℃退火处理后,对样品进行了XRD和VSM测试分析。结果表明:对于Mo/Nd/Nd Fe B/Nd/Mo多层薄膜,当Nd Fe B/Nd厚度比为6/5时,薄膜的内禀矫顽力最好,平行和垂直方向的内禀矫顽力分别为14.5×79.6和10.5×79.6 k A·m^-1;对于Mo/[Nd Fe B/Nd]n/Mo（n=2,5,8,10;Nd Fe B/Nd厚度比为6/5）交替多层薄膜,当周期n为8时,薄膜具有最好的磁性能,平行和垂直方向的内禀矫顽力分别为21.3×79.6和16.7×79.6 k A·m^-1;对于Nd Fe B/Nd厚度比均为6/5的薄膜,交替多层膜的综合磁性能高于多层膜。