CVD金刚石新近应用探析(工业金刚石战略发展思考之二)

来源期刊：超硬材料工程2010年第5期

论文作者：谈耀麟

文章页码：34 - 39

关键词：CVD金刚石;聚晶质;单晶质;超纳晶质;特性;应用;

摘    要：概述工业金刚石从天然金刚石到HPHT金刚石再到CVD金刚石的发展。对比分析聚晶质CVD金刚石和单晶质CVD金刚石的力学性质与电子学性质。介绍聚晶质和单晶质CVD金刚石的新近应用,涵盖复合材料、医疗、电化学、热控技术、微电子机械系统(MEMS)、光学、电子学和声学等领域。阐述超纳米结晶金刚石(UNCD)的特性及其在MEMS、生物传感器、机械密封件与耐磨层以及超光滑金刚石薄膜应用的优异性能。